반응형
1. overlay
silicon으로 구성된 cmos circuit 위에 수 많은 layer가 쌓여있다.
각 layer가 쌓일 때, 얼마나 정확한 위치에 쌓여야 하는데 그 층간의 최소 variation 나타내는 값으로
layer의 align 상태를 나타냅니다.
alignment 기술을 통해서 더 정밀하게 layer를 쌓아야 합니다.
2. CD(critical demension)
일반적으로 최소 선폭을 뜻하는 말로, 패턴 사이의 거리를 말한다.
수평적으로 패턴이 얼마나 균일한지 알수 있는 척도가 될 수 있다.
photo를 통해 패턴을 새길때 웨이퍼의 위치에 따라서 CD값이 달라지면 안되지만
실제로 variation이 생길 수 있고 웨이퍼의 중앙과 가장자리 부분에서의
CD값이 얼마나 균일한지에 따른 값으로 CD uniformity가 있다.
반응형
댓글